中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所是我国著名的技术学科综合性研究所之一，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所。 0310 中科院所# 中国科学院上海微系统与信息技术研究所# 微电子# 微电子机械系统
